山梨大学
大学院 総合研究部 工学域
物質科学系(先端材料理工学)

顔写真
教授

近藤 英一

コンドウ エイイチ
Kondo Eiichi

経歴

  1. 川崎製鐵(株)(現JFEスチール)入社 1987/04
  2. 川崎製鐵(株)ハイテク研究所主任研究員 1994/07
  3. マックスプランク金属研究所 1995/04
  4. IMEC(ベルギー)研究員 1996/05
  5. IMEC(ベルギー)エキスパート研究員 1997/05
  6. 九州工業大学助教授 1998/07
  7. 山梨大学助教授 2000/10
  8. 山梨大学教授 2007/11

学歴

  1. 早稲田大学 1985/03
  2. 早稲田大学 1987/03

学位

  1. 博士(工学) 京都大学

研究分野

  1. 電子・電気材料工学 マイクロ材料工学

研究キーワード

  1. 超臨界流体利用
  2. 集積回路プロセス・材料
  3. 超微細加工
  4. 薄膜

研究テーマ

  1. 集積回路材料
  2. マイクロ・ナノ加工

著書

  1. 半導体・MEMSのための超臨界流体 近藤英一(編著),上野和良,内田寛,曽根正人,生津英夫,服部毅,堀照夫,森口誠 - コロナ社 2012/09/01
  2. 第3章.5超臨界流体を利用した薄膜堆積技術 近藤英一 - CMC出版 2008/09/01
  3. 薄膜ハンドブック第2版 近藤英一 - オーム社 2008/03/01
  4. 超臨界流体中薄膜堆積法 ~原理,特徴,差別化要素~ 近藤英一 - 化学工業社 2007/12/01
  5. 機械・材料系のための マイクロ・ナノ加工の原理 近藤英一 - 共立出版 2005/10/01

論文

  1. 研究論文(学術雑誌) Polarization characteristics of diffraction scattering from metal rough surface L. Jin, T. Taguchi, E. Kondoh, and B. Gelloz APPLIED SURFACE SCIENCE 421, 565-570 2017/10 0169-4332
  2. DENSITY EVALUATION OF SUB-100 nm PARTICLES BY USING ELLIPSOMETRY Eiichi Kondoh Katsuya Suzuki Satomi Hamada Shohei Shima Hirokuni Hiyama Proceedings of International Conference of Planarization/CMP Technology 60-64 2017/10
  3. 研究論文(学術雑誌) Extracting calibrated parameters from imaging ellipsometric measurement Lianhua Jin, Takumi Tanaka, Eiichi Kondoh, Bernard Gelloz, and Makoto Uehara JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 56/ 11, 116602-1-116602-6 2017/10/04 0021-4922
  4. 研究論文(学術雑誌) 各種金属酸化物のCu/ガラス密着向上層としての利用 林 知里 渡邉 満洋 近藤 英一 表面技術 68/ 12, 723-726 2017/06
  5. 共著 Structures of Cu surfaces developing in benzotriazole solutions: Effect of pH Eiichi Kondoh Tatsuya Kawakami Mitsuhiro Watanabe Linhua Jin Satomi Hamada Shohei Shima Hirokuni Hiyama JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 56, 07KH01-1-07KH01-6 2017/06 0021-4922 The effect of pH on layer formation onto clean Cu surfaces in benzotriazole (BTA) aqueous solutions was studied by in situ spectroscopic ellipsometry. The effect of H2O2 addition was also investigated. Time changes in the ellipsometric parameters Ψ and Δ, which correspond to the structural changes of the layers on Cu, were discussed. In acidic solutions, a BTA or a Cu–BTA complex layer grows directly on Cu. The outdiffusion of Cu is suppressed at the Cu layer interface. When H2O2 was mixed, the Cu surface is eroded in acidic solutions. In alkaline solutions, the BTA layer grows on the oxidized Cu layer, or no growth occurs, depending on the composition of the solutions. In neutral solutions, the Cu–BTA complex layer forms on Cu, and the uncovered part is oxidized in the presence of H2O2.

研究発表

  1. ポスター発表 位置情報パケット通信システムの伝搬域の調査~山地行動者の行動把握を目指して~ 富士山測候所を活用する会第11回成果報告会 2018/03/25
  2. 口頭発表(一般) “光伝導を利用したHF溶液中でのポーラスシリコンナノ構造のフォトエッチング観測 第65回応用物理学会春季学術講演会 2018/03/19
  3. 口頭発表(一般) “PBSキューブにおける各層の性能評価 第65回応用物理学会春季学術講演会 2018/03/19
  4. シンポジウム・ワークショップ パネル(指名) 超臨界CO2流体中での薄膜堆積 電気化学会第85回大会 シンポジウムS19. 電子材料及びナノ機能素子技術 2018/03/09
  5. 公開講演,セミナー,チュートリアル,講習,講義等 分光エリプソメトリー計測の勘所とin-situ計測応用 ORIST技術情報セミナー(和泉センター) 第 2 回分光エリプソメーター活用セミナー 2018/02/20

知的財産権

  1. 半導体装置の製造方法 特開平08-222563
  2. 半導体装置の製造方法 特開平08-298288
  3. Al若しくはAl合金の成膜方法 特許3251990 特許3251990
  4. 銅薄膜のドライエッチング方法 特許3256707 特許3256707
  5. 半導体装置の製造方法 特許3266492 特許3266492

受賞

  1. ADMETA AWARD In-situ ellipsometry of Cu surfaces immersed in BTA-H2O2 solutions - Effect of pH 2017/10/19
  2. Advanced Metallization Conference: Asian Session) Technical Achievement Award 2014/10/22 Cu coating inside ultra high-aspect-ratio (>130) and bended through-hole using supercritical CO2 fluid(超臨界CO2流体を⽤いた超⾼アスペクト屈曲貫通孔のCu被覆)
  3. 平成26年度科学研究費助成事業審査委員表彰 2014/10/21
  4. 日本機械学会フェロー 2013/01/16
  5. 平成23年度表面技術協会論文賞 2011/02/24 3次元集積回路電極用Siマイクロ孔内側壁に超臨界流体を利用してCuを堆積した際の被覆特性の検討

学外あるいは所属学部等外の組織との共同研究

  1. 2010 衛星測位利用推進センター 代表 「難アクセス地行動者のネットワーク型“みまもり”システム開発可能性の実験的検証」

社会貢献活動

  1. リフレッシュ理科教室(応用物理学会東海支部) 2017/08/01-2017/08/02 小中学生向け理科教室、工作指導
  2. おもしろメカニカルワールド 2016/08/04-2016/08/05 国立科学博物館 サイエンススクエア 日本機械学会関東支部事業 おもしろメカニカルワールドにおいて工作指導、同工作の考案、プロデュースを行った。
  3. リフレッシュ理科教室(応用物理学会東海支部) 2016/08/01-2016/08/02 小中学生向け理科教室、工作指導
  4. メカパイロット 2015/12/18 ロボット教材を利用した工学啓蒙(日本機械学会関東支部山梨ブロック)
  5. リフレッシュ出前理科教室 2015/11/19-2015/11/20 小学校での工作指導

国際交流・国際貢献

  1. 2006 応用物理学会・山梨県・山梨大学主催 リフレッシュ理科教室 指導 8月8~9日 於 山梨県立科学館
  2. 2005 応用物理学会・山梨県・山梨大学主催 リフレッシュ理科教室 指導 於 山梨県立科学館

所属学協会

  1. 化学工学会
  2. 日本機械学会
  3. 表面技術協会
  4. Materials Resarch Society 2013/04
  5. 山梨科学アカデミー 2010/04

学外委員

  1. (一社)表面技術協会 理事 2017/03-2018/03
  2. (一社)表面技術協会 理事 2016/04-2017/03
  3. 応用物理学会 代議員 2016/03-2017/02
  4. 応用物理学会 代議員 2015/03-2016/02
  5. 日本機械学会関東支部 監事 2011/03-2013/03