山梨大学
大学院 総合研究部 工学域
物質科学系(先端材料理工学)

顔写真
教授

近藤 英一

コンドウ エイイチ
Kondo Eiichi

経歴

  1. 川崎製鐵(株)(現JFEスチール)入社 1987/04
  2. 川崎製鐵(株)ハイテク研究所主任研究員 1994/07
  3. マックスプランク金属研究所 1995/04
  4. IMEC(ベルギー)研究員 1996/05
  5. IMEC(ベルギー)エキスパート研究員 1997/05
  6. 九州工業大学助教授 1998/07
  7. 山梨大学助教授 2000/10
  8. 山梨大学教授 2007/11

学歴

  1. 早稲田大学 1985/03
  2. 早稲田大学 1987/03

学位

  1. 博士(工学) 京都大学

研究分野

  1. 電子・電気材料工学 マイクロ材料工学

研究キーワード

  1. 超臨界流体利用
  2. 集積回路プロセス・材料
  3. 超微細加工
  4. 薄膜

研究テーマ

  1. 集積回路材料
  2. マイクロ・ナノ加工

著書

  1. 半導体・MEMSのための超臨界流体 近藤英一(編著),上野和良,内田寛,曽根正人,生津英夫,服部毅,堀照夫,森口誠 - コロナ社 2012/09/01
  2. 第3章.5超臨界流体を利用した薄膜堆積技術 近藤英一 - CMC出版 2008/09/01
  3. 薄膜ハンドブック第2版 近藤英一 - オーム社 2008/03/01
  4. 超臨界流体中薄膜堆積法 ~原理,特徴,差別化要素~ 近藤英一 - 化学工業社 2007/12/01
  5. 機械・材料系のための マイクロ・ナノ加工の原理 近藤英一 - 共立出版 2005/10/01

論文

  1. ダイヤモンド気相合成の速度論および結晶成長に関する研究 近藤英一 学位論文(京都大学) 1/ 1, 1-2
  2. Thermal Chemical Vapor Deposition of Diamond from Methane-Hydrogen Gas System Pyrolized at Low Temperature (1450 °C) E. Kondoh, T. Ohta, T. Mitomo, and K. Ohtsuka Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 31, No. 12B, pp. L1781-L1784.(Tokyo) 1/ 1, 1-2
  3. Reflection High-Energy Electron Diffraction Observation of Anti-Phase Domain Ordering of the 2x1 Reconstructed (111) Surface of Chemical-Vapor-Deposited Diamond E. Kondoh, K. Tanaka, and T. Ohta Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 32, No. 7A, pp. L947-L949.(Tokyo) 1/ 1, 1-2
  4. Metalorganic Chemical Vapor Deposition of Aluminum-Copper Alloy Films T. Katagiri, E. Kondoh, N. Takeyasu, T. Nakano, H. Yamamoto, and T. Ohta Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 32, No. 8A, pp. L1078-L1080.(Tokyo) 1/ 1, 1-2
  5. Homoepitaxial growth of diamond by an advanced hot- filament chemical vapor deposition method E. Kondoh, K. Tanaka, and T. Ohta Journal of Applied Physics, Vol. 74, No. 3, pp. 2030-2035.(College Park, MD) 1/ 1, 1-2

研究発表

  1. 口頭発表(一般) 各種金属酸化物のCu/ガラス界面密着層としての利用の試み 日本機械学会関東支部第23期総会・講演会 2017/03/17
  2. 口頭発表(一般) その場分光エリプソメトリ測定を用いたBTA-H2O2混合溶液中におけるCu表面の初期処理過程の解析 日本機械学会関東支部第23期総会・講演会 2017/03/17
  3. 口頭発表(一般) エリプソメトリ法によるSi基板表面の微粒子検出 日本機械学会関東支部第23期総会・講演会 2017/03/17
  4. 口頭発表(一般) ラフな表面における散乱光の偏光特性の波長依存性 第64回春季応用物理学会学術講演会 2017/03/15
  5. 口頭発表(一般) HexafluoroacetylacetoneによるPtエッチング 第64回春季応用物理学会学術講演会 2017/03/15

知的財産権

  1. 半導体装置の製造方法 特開平08-222563
  2. 半導体装置の製造方法 特開平08-298288
  3. Al若しくはAl合金の成膜方法 特許3251990 特許3251990
  4. 銅薄膜のドライエッチング方法 特許3256707 特許3256707
  5. 半導体装置の製造方法 特許3266492 特許3266492

受賞

  1. Advanced Metallization Conference: Asian Session) Technical Achievement Award 2014/10/22 Cu coating inside ultra high-aspect-ratio (>130) and bended through-hole using supercritical CO2 fluid(超臨界CO2流体を⽤いた超⾼アスペクト屈曲貫通孔のCu被覆)
  2. 平成26年度科学研究費助成事業審査委員表彰 2014/10/21
  3. 日本機械学会フェロー 2013/01/16
  4. 平成23年度表面技術協会論文賞 2011/02/24 3次元集積回路電極用Siマイクロ孔内側壁に超臨界流体を利用してCuを堆積した際の被覆特性の検討
  5. Advanced Metallization Conference Asian Session Technology Achievement Award 2009/10

学外あるいは所属学部等外の組織との共同研究

  1. 2010 衛星測位利用推進センター 代表 「難アクセス地行動者のネットワーク型“みまもり”システム開発可能性の実験的検証」

社会貢献活動

  1. おもしろメカニカルワールド 2016/08/04-2016/08/05 国立科学博物館 サイエンススクエア 日本機械学会関東支部事業 おもしろメカニカルワールドにおいて工作指導、同工作の考案、プロデュースを行った。
  2. リフレッシュ理科教室(応用物理学会東海支部) 2016/08/01-2016/08/02 小中学生向け理科教室、工作指導
  3. メカパイロット 2015/12/18 ロボット教材を利用した工学啓蒙(日本機械学会関東支部山梨ブロック)
  4. リフレッシュ出前理科教室 2015/11/19-2015/11/20 小学校での工作指導
  5. 山梨大学ものづくり出張授業 2015/10/20 ロボット教材を利用した工学啓蒙(日本機械学会関東支部山梨ブロックと共催)

国際交流・国際貢献

  1. 2006 応用物理学会・山梨県・山梨大学主催 リフレッシュ理科教室 指導 8月8~9日 於 山梨県立科学館
  2. 2005 応用物理学会・山梨県・山梨大学主催 リフレッシュ理科教室 指導 於 山梨県立科学館

所属学協会

  1. 化学工学会
  2. 日本機械学会
  3. 表面技術協会
  4. Materials Resarch Society 2013/04
  5. 山梨科学アカデミー 2010/04

学外委員

  1. (一社)表面技術協会 理事 2017/03-2018/03
  2. (一社)表面技術協会 理事 2016/04-2017/03
  3. 応用物理学会 代議員 2016/03-2017/02
  4. 応用物理学会 代議員 2015/03-2016/02
  5. 日本機械学会関東支部 監事 2011/03-2013/03