山梨大学
大学院 総合研究部 工学域
機械工学系(情報メカトロ二クス工学)

准教授

金 蓮花

キン レンカ
Jin Lianhua

経歴

  1. 東京農工大学ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー 研究員 2002/04/01
  2. 成蹊大学 理工学部 物質生命理工学科 助手 2004/04/01
  3. 芝浦工業大学 電気工学科 非常勤講師(兼任) 2006/04/01
  4. 山梨大学大学院 医学工学総合研究部 情報システム工学科 准教授 2008/04/01

学位

  1. 博士(工学) 東京農工大学 2001/03

研究分野

  1. 応用光学・量子光工学

研究キーワード

  1. ポーラスシリコン,光散乱,偏光,複屈折,エリプソメトリー,電気光学結晶,光変調器,光3次元計測

研究テーマ

  1. ナノシリコン結晶発光素子の開発
  2. 高分解能・高精度イメジングエリプソメータの開発
  3. デバイスの光学特性評価方法の開発
  4. ラフな面における光学特性の評価

著書

  1. Kevin Harding Toru Yoshizawa,Lianhua Jin - Taylor & Francis 2013/02/01
  2. Chapter 9 Moire Metrology L. Jin - Taylor & Francis Group 2008/12/01
  3. 第1章第2節第2項 光の評価・測定 滝沢國治,金 蓮花 - 情報機構 2008/11/01
  4. 4.2 モアレ方式 金 蓮花 - 朝倉書店 2006/11/01

論文

  1. 研究論文(国際会議プロシーディングス) 共著 DENSITY EVALUATION OF SUB-100 nm PARTICLES BY USING ELLIPSOMETRY Eiichi Kondoh Katsuya Suzuki Lianhua Jin Satomi Hamada Shohei Shima Hirokuni Hiyama Proceedings of International Conference of Planarization/CMP Technology 60-64 2017/10
  2. 研究論文(学術雑誌) 共著 Extracting calibrated parameters from imaging ellipsometric measurement L. Jin,T. Tanaka,E. Kondoh,B. Gelloz,M. Uehara Japanese Journal of Applied Physics 56/ 11, 1-6 2017/10 0034-6748 10.7567/JJAP.56.116602
  3. 研究論文(学術雑誌) 共著 Polarization characteristics of diffraction scattering from metal rough surface L. Jin, T. Taguchi, E. Kondoh, and B. Gelloz Applied Surface Science Springer 421, 565-570 2017/10 10.1016/j.apsusc.2016.10.142
  4. 研究論文(学術雑誌) 共著 Removal of organic template of mesoporous organosilicate thin films using supercritical carbon dioxide fluids E. Kondoh, K. Segawa, M. Watanabe, L. Jin, L. Zhang, and M. R. Baklanov Japanese Journal of Applied Physics 56, O7KF02-4 2017/06 0021-4922 10.75567/JJAP.56.07KF02
  5. 研究論文(学術雑誌) 共著 Structures of Cu surfaces developing in benzotriazole solutions: Effect of pH E. Kondoh,T. Kawakami,M. Watanabe,L. Jin,S. Hamada,S. Shima,H. Hiyama Japanese Journal of Applied Physics 56, O7KH01-6 2017/06 0021-4922 10.75567/JJAP.56.07KH01

研究発表

  1. ポスター発表 イメージングエリプソメトリーにおけるNAの影響 第65回応用物理学会春季学術講演会 2018/03/20
  2. ポスター発表 光伝導を利用したHF溶液中でのポーラスシリコンナノ構造のフォトエッチング観測 第65回応用物理学会春季学術講演会 2018/03/19
  3. 口頭発表(一般) PBSキューブにおける各層の性能評価 第65回応用物理学会春季学術講演会 2018/03/19
  4. ポスター発表 ポーラスシリコン上のAl:ZnO透明導電膜厚の最適条件の選定 第65回応用物理学会春季学術講演会 2018/03/17
  5. 口頭発表(招待・特別) 高精度イメージングエリプソメトリー 精密工学会2018年度春季大会 シンポジウム「偏光計測の基礎と応用」 2018/03/15

知的財産権

  1. 特許 誤差補正方法及び二次元偏光解析法、並びに誤差補正装置及び二次元偏光解析装置 2017-27524 2017/02/17
  2. 特許 光学特性の測定方法及び光学特性の測定装置 2015-122819 2015/06/18
  3. 特許 光学特性の測定方法及び光学特性の測定装置 2014-016281 2014/01/31

受賞

  1. ADMETA Award In-situ ellipsometry of Cu surfaces immersed in BTA-H2O2 solutions - Effect of pH 2017/10/19
  2. 日本光学会 第20回光学設計奨励賞 広範囲・高分解能・高精度イメージングエリプソメータの開発 2017/07
  3. 山梨大学 平成27年度優秀教員奨励制度(研究特別奨励賞) 2016/05
  4. Poster Award Selective Cu fill into nanopores using supercritical carbon dioxide 2015

社会貢献活動

  1. 山梨講演会2017 2017

所属学協会

  1. 一般社団法人日本光学会 2015
  2. 精密工学会 2013
  3. SPIE 2009
  4. 応用物理学会 2002

学外委員

  1. 偏光計測・制御技術研究グループ 委員 2013/04
  2. 日本光学会 幹事 2013/04/01-2016/03/31
  3. 精密工学会 学術交流会委員会 委員 2012/04-2016/03
  4. メカノフォトニクス専門委員会 委員 2009/01
  5. 日本光学会 光科学及び光技術調査委員会 委員 2007/04-2010/03